超高精密自动测角仪( PrismMaster HR MOT Goniometer)

测量工作台直径:Φ200mm;单次测量绝对精度:0.5;

多次测量绝对精度>0.2；

测量范围:0°~360°任意角度;

微调旋钮转动精调:+/-30″

测量棱镜、多边棱镜、光模、窗口以及其他平面光学器件

光学测量工作站( Optical Test Station)
工作波长:525nm;  焦距:测量范围:-500mm~-5mm,+5mm~+500mm,重复性:±0.04%~0.39%,精度:±0.04%~±0.3%
后截距及法兰焦距(BFL/FFL):测量范围:500mm~5mm,+5mm~+500mm,重复性:±0.04%~0.3%,精度:±0.04%~±0.3%
曲率半径:测量范围:500mm~-5mm,+5mm~+500mm,重复性:±0.04%~0.3%,精度:±0.03%~±0.3% 
驱动的XY台面:移动范围:200mm×150mm,分辨率:1μm

测量柱面和球面透镍的：焦距（ EFL ）、后截距及法兰焦距（ BFL , FFL ）、正/负曲率半径：对于柱面镜，额外测量功能：中心偏差（柱轴的顶线与参照面之间的偏差，参照面可为柱面镜的外沿面）、柱袖与机械参考线的扭转角度

通用途紫外 / 可见光传递函数测试仪 (IS-300 UV/VIS MTF TESTSYSTEM) 

可测量参数；MTF、最佳焦平面、场曲、象散、色差、畸变、EFL 等；MTF 测量精度； +/-0.02MIF;MTF测量重复性； +/-0.01MTF; 

场曲：优于 +/-5μm; 畸变；优于 +/-0.5%; 焦距测量范围：3mm-1000mm; 最大数值孔径：0.85

在可见光及紫外波段对光学系统或光学组件的传递函数、焦距和畸变等参数进行测量

镜面定位仪( LENSCAN System)

测量范围:0~600mm光学长度;测量精度:+/-0.15μm;

测试重复性:标准偏差 STDEV<100nm(30次测量)

主要用于光学系统中的透镜间隔和厚度测量

超高精密全自动球径仪 (Automatic Spherometer)

曲率半径测量精度：0.005%; 半径测量范围：凸:+3mm~无限;凹:-6mm~无限

用于高精度光学样板曲率半径测量和光学元件曲率半径检验

大口径激光干涉仪( Verifire XP/D Interferometer)

三平板重复性；<2nm,N300;RMS 重复性；<0.1nm,N10,000; 条纹分辨率：180 条纹； 分辨率；>N8,000( 二次通过 ); 相干长度 >100m

精密测量各种反射面和光学系统的表面面形，精密测量光学系统的传输波前

菲索型动态干涉仪 (Intellium¹MH2000 Interferometer) 

测量元件反射率范围：0.19%-100%; 测试精度 PV 值优于 100;1K*1K 空间分辨率，优于 300 的条纹分辨率；相干长度；>328ft(100m)

测量光学件表面、机械抛光表面和半导体晶片表面

椭偏仪 (Ellipsometer)

光谱范围：190-1100nm; 样品最大直径：200mm; 自动变角范围；15°~90°; 单色光源的焦距：160mm

用于研究分析半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等材料的特性,可测量其透射、反射、相位延迟量、双折射、退偏、散射和穆勒矩阵等

TESA VISIO 300 GL 同轴变焦型影像测量仪 

XY平面精度：(2.0+4L/1000)μm,(L 单位为 mm);z 轴精度 (2.9+5L/1000)μm,(L 单位为 mm); 

测量苑围300X200X150mm(X/Y/Z); 工作台表面尺寸：510x480m(XY); 工作台承重:16 公斤；

通过光学成像完成非接触测量，特别适合于冲压件、塑料件、注塑件和丝膜印刷、电子等行业的测量要求

非球面检测仪( LuphoScan measuring system)
精度(光束入射角度<2°):抛光：Ra<1μm  1μm≤Ra≤3μm  ±50mm  ±250nm  ±1μm ;测量范围:420mm(直径)×80mm(高度);
重复性:±20nm(2σ);纵向分辨率:0.1nm;光斑大小:4μm;最大测试口径:420mm

用于旋转对称表面的光学镜片面形测量,包括球面、非球面、平面、柱面、锥面等

LAS激光定心装配工作台( Laser Alignment and Assembly Station)
测量精度:TIR 0.5um;直线导轨:1250mm;有效工作空间:1.0m;样品台:Φ400mm;空气轴承,承重:900kg;
轴向/径向跳动精度:0.05m,轴晃动:0.025um/25mm;高精度杠杆表:0.1um

用于光学系统单元装配、系统调试过程中光学元件中心偏差的精密测量和校正

粗糙度微轮廓仪( Surface Profiler)
测量范围:最大可测直径Φ300mm;测量陡度:最大可测70°;球面测量的重复性:<100nm

用于光学元件的表面粗糙度和面形测量